2019《洁净室及相关受控环境 第三部分：测试方法》

ISO近期对ISO 14644-3《洁净室及相关受控环境-第三部分：测试方法》进行了修订，包含洁净室和洁净区性能特性的各项检测方法、测试仪器要求和准则。修订后的版本将取代原ISO14644-3:2005，主要变化如下：
 √ 修订后的测试方法包括：过滤器泄漏测试、压差测试、自净时间测试、温湿度测试、静电和电离子器检测、悬浮粒子测试、隔离测试、气流测试；
√ 相比2005版，删除空气悬浮超微粒子计数方法、空气悬浮大粒子计数方法，新增隔离测试方法；
√ 洁净度分级指向了ISO14644-1：2015；
√ 要求气流测试在静态条件下测试气流组织，在动态条件下模拟实际操作；
√ 自净时间测试中使用的人工气溶胶，应考虑环境污染残留风险；
√ 对于过滤器的泄漏测试，是确认过滤器正确安装，并不用于确定过滤介质的效率；
√ 使用气溶胶光度计进行过滤器泄漏测试的接受标准通常是≤0.01%，但是对于MPPS≥99.95%且≤99.995%的过滤器，接受标准是≤0.1%；
√ 高效过滤器检漏，对于上游浓度的要求，由原来的10mg/m3-100mg/m3，改为1mg/m3-100mg/m3，并说明并不是所有光度计都适合，与灵敏度相关；并且，在过滤器检漏之前，先应做风速的测试；
√ 过滤器检漏时，扫描速度建议为“5cm/s”，扫描头与送风面保持≤3cm的距离；
√ 过滤器检漏过程，应在一定的时间间隔复核上游气溶胶浓度（应±15%偏差以内）；
√ 最后，提供了测试方法及仪器指向，如图所示：

总体来看，新修订的ISO 14644-3《洁净室及相关受控环境-第三部分：测试方法》更合理，适合实际检测工作的执行。